配氣部分：完成1～11路氣體的計(jì)量控制、混合任務(wù)，其中每路包括穩(wěn)壓控制、壓力顯示、質(zhì)量流量顯示和控制；多路氣體分別計(jì)量后進(jìn)入同一個(gè)混合罐充分混合，Φ6不...

裝置總控部分包括計(jì)算機(jī)軟件和電路自動(dòng)控制單元兩部分。計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯示流化床變化數(shù)據(jù)(溫度、氣體流量等)以及所有操作參數(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)控制溫度、流率以及氣路的轉(zhuǎn)換的進(jìn)一...

氫氣和氬氣經(jīng)氣體預(yù)熱爐預(yù)熱后，氬氣進(jìn)入NbCl5氣化罐內(nèi)，在閥門(mén)V6的后端與氫氣混合，混合后進(jìn)入沉積室下端，經(jīng)過(guò)氣體分布板，進(jìn)入沉積室內(nèi)部沉積室直徑約為100m...

催化反應(yīng)評(píng)價(jià)裝置，催化流化，設(shè)計(jì)，